英國愛德華STP-iXA2206C ISO250F渦輪分子泵

製品概要

STP-iXA2206 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業內，可將小型電源供給集成到機載控制器內（ 該泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一*集成的產品易于安裝且占地面積小，可作為所有應用工具的一體化解決方案。愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C

用途

• 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送和站

  特性與優勢

• 緊湊型設計，包括*集成的控制器
• 創新性自傳感磁力軸承系統
• 數字化 5 軸控制
• 與現有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
• 可以配置為運行腐蝕性制程愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C

  技術數據

  入口法蘭尺寸	ISO250F/VG250/ICF305
  前級抽氣口尺寸	KF40
  抽速 N2/Ar	2200/1900 ls-1
  壓縮比 N2/H2	>108 / 1 x 104
  極限壓力	10-7 Pa (10-9 Torr)
  允許的前級壓力	266  Pa (2 Torr)
  大氣流 N2 *（僅水冷）	3000 sccm
  	(5.07 Pam3s-1)
  大氣流 Ar *（僅水冷）	1400 sccm
  	(2.36 Pam3s-1)
  額定速度	27000 rpm
  運轉到 90% 額定速度的時間	<8 分鐘
  固定位置	任何方向
  輸入電壓	200-240 V
  大輸入功率（不帶 TMS）	1200 VA
  重量	62 kg

  
  * 大氣流適用于在 15-25 °C 之間的水冷卻溫度下連續泵送 N2 或 Ar 氣體，并且使用前級泵（10,000 l/min 大?。┑那闆r。 它會隨條件變化而變化。

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一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。